중국 EUV 개발의 또다른 진척 - 러시아-우크라이나 갤러리

[일반] 중국 EUV 개발의 또다른 진척

ㅇㅇㅈ(99.238) 2025.03.08 21:07:28

조회 112 추천 2 댓글 0

EUV용 광학렌즈 제조 간섭계

제조사는 장춘 광학정밀기계 연구소 (CIOMP)

EUV의 핵심 부품은

광원, 포토레지스트, 마스크, 렌즈 등으로 구성된다.

현재 중국은

광원은 LPP vs DPP 서로 다른 기술이 경쟁할 정도로 충분하고

포토레지스트, 마스크도 삼성이 중국산 포토레지스트 주문했다는 소문이 나올 정도로 충분한 기술을 갖췄다고 판단되고

렌즈...

현재 ASLM에 들어가는 렌즈는 독일 자이스 제품이다.

밑의 사진은 중국도 전세계 독일 자이스나 만들 수 있는 EUV용 렌즈를 만들 수 있다는 것을 보여주는거다.

종합해보면

중국은 EUV 제조에 필요한 핵심 기술을 거의 완성했다는 뜻이고

이제 중국산 EUV가 나올 날이 머지 않았다는 뜻이다.

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