차세대 반도체 시장에서 극자외선(EUV) 공정이 주목받고 있다. 7나노 EUV 광원을 이용한 삼성전자 AP(애플리케이션프로세서)가 양산되고, 이 광원을 활용한 5나노와 3나노 양산 공정도 수년 내 구현될 예정이다. 삼성전자는 EUV 전용 생산라인을 내년 상반기 가동한다. 신설 라인은 기존 불화아르곤(ArF) 공정에서 쓰인 노광 기술과 방식이 아예 달라 새로운 부품이 필요하다.

하지만 국내 생태계는 아직 열악하다. 90% 이상 일본에서 수입해왔던 EUV 포토레지스트는 지난 7월 일본 수출 규제 이후 직격탄을 맞았다. EUV용 마스크는 삼성전자와 SK하이닉스에서 자체 생산한다. 그러나 제작에 필요한 장비와 소재는 역시 수입에 의존하고 있다. 일례로 EUV 노광 장비는 네덜란드 ASML이 독점 공급한다.

이런 생태계에 과감하게 도전장을 내민 국내 기업이 있다. 바로 이솔(대표 김병국)이 주인공이다. 이솔은 'EUV 솔루션'의 줄임말로 국내 반도체 펠리클 업체인 FST 자회사이기도 하다. 회사 이름대로 EUV 공정에 필요한 다양한 솔루션과 장비를 개발한다.



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