중국이 시도하는 SSBM-EUV에 대한 이병훈 교수 의견

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교수가 교수인이유.jpg 작성자 : ㅇㅇ

[일반] 중국이 시도하는 SSBM-EUV에 대한 이병훈 교수 의견

ㅇㅇㅈ(99.238) 2024.10.16 15:48:01

조회 65 추천 0 댓글 0

중국이 시도하는 입자가속기로 생성한 광원을 사용하는 SSMB-EUV에 대한 포항공대 이병훈 교수의 의견.

Professor Lee Byeong-hoon, a professor in the Department of Semiconductor Engineering at POSTECH, was interviewed as follows.
포항공대 반도체공학과 이병훈 교수와 인터뷰를 진행한 내용은 다음과 같다.

The EUV (extreme ultraviolet) exposure equipment (equipment that finely draws circuit patterns on wafers) from the Dutch company ASML is considered the last bastion of technology blockade, but China is looking for a way to use synchrotron radiation accelerators that can produce light with a shorter wavelength than EUV.

네덜란드 기업 ASML의 EUV (극자외선) 노광 장비 (웨이퍼에 회로 패턴을 세밀하게 그리는 장비)가 기술 봉쇄의 최후 보루로 꼽히지만, 중국은 (ASML의) EUV보다 파장이 짧은 빛을 낼 수 있는 방사광 가속기를 활용하는 방안을 모색하고 있다.

There are many technologies that need to be developed to use synchrotron radiation accelerators, such as light source utilization methods, photosensitive materials, and exposure systems.

방사광가속기를 사용하기 위해서는 광원활용방법, 감광재료, 노광시스템 등 개발해야 할 기술이 많다.

Therefore, the idea of replacing EUV with synchrotron radiation accelerators was considered absurd, but the extreme situation of blockade can change the nature of technology development.

따라서 EUV를 방사광가속기로 대체한다는 발상은 터무니없는 것으로 여겨졌지만, 봉쇄라는 극한 상황은 기술개발의 성격을 바꿀 수 있다.

중국이 개발 시도하는 입자가속기로 생성하는 광원을 이용하는 SSMB-EUV (ASML의 EUV를 뛰어넘는 차세대 EUV) 관련 영상

현재 실험용 설비가 후베이성 슝안현에 건설되고 있다.

Chinese light source facility accelerates first electron beam

https://www.youtube.com/watch?v=dRKb-rLlfas

Chinese light source facility accelerates first electron beam

For more:https://news.cgtn.com/news/2023-03-15/Chinese-light-source-facility-accelerates-first-electron-beam-1ibBCucGvMQ/index.htmlThe linear accelerator of...

www.youtube.com

SSMB-EUV

https://www.youtube.com/watch?v=Ho-8AMQJBQE

SSMB-EUV

SSMB-EUV

www.youtube.com

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