ASML, 1nm 칩 제조용 EUV 리소그래피 기계 설계를 완료

ASML, 1nm 칩 제조용 EUV 리소그래피 기계 설계를 완료앱에서 작성

ㅇㅇ(39.7) 2020.12.03 12:40:31

조회 55 추천 0 댓글 0

viewimage.php?id=3dafd922e0c23b9960bac1e1&no=24b0d769e1d32ca73dec84fa11d0283195504478ca9b7677dc322e30c9369b458c35718edece758fbc80e602cfbb35a03f20e84c591b535f547fb96e83b71b0f556ebd4c3ad063c6d58067d461ed8b6e5e71d055867c03bd6b4943a54a84e7e382eb18102ad41d9d2df60f96

현재 TSMC와 삼성의 7nm 및 5nm 제조에 NA=0.33의 EUV 노광 장비가 도입되었다고 하는데, 2nm 이후에는 고해상도 노광 장비인 NA=0.55가 필요합니다. 다행히도 ASML은 0.55NA 노광 장비 (예 : NXE : 5000 시리즈)의 기본 설계를 완료했으며 2022년에 상용화될 예정입니다.

위에서 언급한 크기 증가가 광학 장치의 증가로 인해 발생한 이유는 클린 룸 지수가 한도에 도달했기 때문입니다.

현재 판매되고 있는 극 자외선 노광기 2대는 TWINSCAN NXE : 3400B, TWINSCAN NXE : 3400C입니다. 3600D는 내년 중반에 출하될 예정이며 생산 효율은 18% 증가할 것입니다.

고정닉 0

원본 첨부파일 1

EFE971D6-BA8A-488E-AC00-6EB9805FDD58.jpg

전체 댓글 0개

등록순

본문 보기

타인의 권리를 침해하거나 명예를 훼손하는 댓글은 운영원칙 및 관련 법률에 제재를 받을 수 있습니다.
Shift+Enter 키를 동시에 누르면 줄바꿈이 됩니다.

갤러리 리스트
번호	제목	글쓴이	작성일	조회	추천
설문	기 세보여도 실제로는 멘탈 약할 것 같은 스타는?	운영자	24/11/04	-	-
361682	진지하게 흡연충들은 좀 끊어라 ㅋㅋㅋㅋㅋㅋ [4]	Anonymous2020	20.12.23	99	0
361680	크리스마스 이브 이브	자택경비원	20.12.23	29	0
361679	케이스 이건 ㄱㅊ음? [2]	ㅇㅇ(106.101)	20.12.23	55	0
361678	39.115 게이야 그래도 피파가 돌아가는거에 감사함을 느껴라 [1]	ㅇㅇ(180.71)	20.12.23	38	0
361677	갤럭시S21 좆망확정 ㅋㅋㅋㅋ [3]	Cure10	20.12.23	147	0
361676	글카는 왜 ddr6야? [2]	ㅇㅇ(220.122)	20.12.23	57	0
361675	책상위 본체는 팬갈이 필수임?	ㅇㅇ(218.53)	20.12.23	54	0
361674	요즘드레곤볼하면 얼마아낄수있어?	바둑이는야옹	20.12.23	21	0
361672	컴린이기준이 뭐냐	ㅇㅇ(1.233)	20.12.23	19	0
361671	파워 하나 새로 사야될까???	ㅇㅇ(124.54)	20.12.23	40	0
361670	근데 왜 전기차 뜨는거냐?	ᆼᆼ(125.51)	20.12.23	13	0
361669	우웅 나는 바보 컴붕이...... [2]	채굴아저씨	20.12.23	70	0
361667	포맷하고 뭐 잘못건들인건가	Britz0603	20.12.23	22	0
361666	견적 어떰	고무백검	20.12.23	43	0
361665	이륙 허가 바란다 오버 [1]	ㅇㅇ(61.78)	20.12.23	31	0
361664	9900KFC 프라이드 치킨 에디숀 뭔뎈ㅋㅋㅋㅋㅋㅋㅋㅋ [6]	..ㅇㄴㄹ	20.12.23	112	1
361662	너네 본체 led 다 키고 하냐? [2]	ㅇㅇ	20.12.23	39	0
361661	컴조립하는거 어렵냐????????????? [4]	ㅇㅇ(175.223)	20.12.23	50	0
361659	최종 이륙 허가 받으러 왔슴다!	ㅇㅇ(210.216)	20.12.23	50	0
361658	컴린이 친구컴조립끝냈어	빠삐코	20.12.23	25	0
361657	그러고보니 곧24일이노 ㅋㅋㅋㅋ [1]	Anonymous2020	20.12.23	57	0
361656	슈프림 순정타스 ㅁㅌㅊ	ぽよぽよ	20.12.23	61	0
361654	케이스 이거 ㄱㅊ? [3]	ㅇㅇ(106.101)	20.12.23	85	0
361655	주문은 했는데 도착은 했는데 쓸데가 없다 [1]	ㅇㅇ(117.111)	20.12.23	39	0
361653	삼성 ddr4 가격 미쳐돌아가던데	kzine	20.12.23	47	0
361652	pc빌딩 오늘자 업데이트 공지 [2]	Britz0603	20.12.23	92	0
361651	요즘 피씨방 폐업 많음? [9]	산도깨비	20.12.23	141	0
361649	26~27세인데데 모솔아다다?ㅋㅋㅋㅋ [9]	Anonymous2020	20.12.23	192	0
361648	낼 여자친구 만나서 준비해봄 [2]	ㅇㅇ(115.86)	20.12.23	90	0
361647	메인보드 와파 지원하면 [2]	ㅇㅇ(223.39)	20.12.23	43	0
361645	5600x에 b450쓰려면 바이오스 업뎃 필요한거임? [1]	ㅇㅇ(110.10)	20.12.23	134	0
361644	음향 관련 질문 좀 [1]	템루스	20.12.23	61	0
361643	애플카 나왔는데 갤럭시카는 안나오냐? [4]	Raindrop	20.12.23	78	0
361642	컴린이 보드 비교 좀	다크bleu(61.255)	20.12.23	38	0
361641	인터넷만 햇을때 cpu 온도 몇정도되야 정상임? [2]	신성좆	20.12.23	64	0
361638	pbo 온도 너무 뜨거운거아니냐.. [3]	ㅇㅇ(112.185)	20.12.23	116	0
361637	22년에 대격변 일어날듯 [4]	따디스	20.12.23	132	0
361636	3070 에브가 컬러풀 뭐로사냐 [2]	ㅇㅇ(182.230)	20.12.23	118	0
361634	글카 가격들 왜저럼?? ㄷㄷ [1]	아드레날린펑펑	20.12.23	87	0
361633	원래 케이스 전면 USB는 고장나는게 당연한거임? [4]	ㅇㅇ(119.202)	20.12.23	70	0
361632	구글 AMP 앰프라고 발음하는 거였음??	ㅇㅇ(118.131)	20.12.23	57	0
361631	제발 2070 40주고 사지마라 병신들아 [2]	ㅇㅇ(49.164)	20.12.23	140	0
361630	업소가서 아다 떼라는새끼 특 [7]	산도깨비	20.12.23	161	0
361628	형님들 조립컴 처음사는 사람 질문좀 가능? 윈도우 설치랑 드라이버설치	ㅇㅇ(49.175)	20.12.23	54	0
361627	지금 cpu 사기 존나 애매하네 [4]	ㅇㅇ(76.220)	20.12.23	122	0
361626	이번에 컴퓨터를 바꾸는데 ssd를 어떻게 해야할까요ㅠㅠ [5]	oo(218.151)	20.12.23	65	0
361625	만약에 일본이 한국 먹으면	감정조루	20.12.23	30	0
361624	2주뒤에 30인데 모쏠아다임ㅋㅋㅋ [3]	ㅇㅇ(175.223)	20.12.23	53	0
361623	쿠팡 3080 트리오 5개 남았다 [1]	ㅇㅇ(110.70)	20.12.23	160	1
361622	중고거래 하는데 상대방 얼굴 못생기면 깍아줌 [2]	ㅇㅇ(223.38)	20.12.23	49	0