(속보) 중국정부, 자국산 노광기(DUV) 출하 공식 발표

ㅇㅇㅈ(99.238) 2024.09.15 14:19:48

조회 76 추천 0 댓글 4

중국정부 (중국 공신부)가 자국산 (SMEE가 개발) DUV 노광기 출하를 공식 발표했다.

이말은 중국이 DUV 노광기를 공식적으로 개발한 것이고 자국산 DUV를 생산라인에 투입할 수 있다는 얘기다.

다음 목표는 당연히 EUV 노광기겠지.

요근래 하얼빈공대가 낸 EUV 광원 특허를 비롯해 포토레지스트 등 핵심 부품 특허가 줄줄히 나오는 것을 볼 때

최소한 EUV 프로토타입은 존재하지 않을까 추측한다.

중국에서 2021년 정도에 DUV 개발했다는 소식이 나오고 2024년인 올해 정부가 공식 출하 발표했으니

대략 3년 안팎의 테스트 기간을 끝내고 중국산 EUV가 나올 것으로 예상해 본다.

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